GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

标准详情：

GB/T 37053-2018

国家标准推荐性

中文名称：氮化镓外延片及衬底片通用规范
CCS分类：H83
ICS分类：29.045
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-07-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《氮化镓外延片及衬底片通用规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了氮化镓外延片（以下简称外延片）及氮化镓衬底片（以下简称衬底片）的通用规范，包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等。本标准适用于氮化镓外延片与氮化镓衬底片。产品主要用于发光二极管、激光二极管、探测器等光电器件，以及微波与电力电子功率器件。

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥彩虹蓝光科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、

起草人

丁晓民、刘南柳、修向前、孙永健、潘尧波、徐科、王香、张国义、

相近标准

GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片
20220134-T-469 碳化硅外延片
20220133-T-469 埋层硅外延片
SJ/T 11396-2009 氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法
GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
GB/T 14139-2019 硅外延片
GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片
20203728-T-469 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错