GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范
标准详情:
GB/T 16595-2019
国家标准推荐性现行
- 中文名称:晶片通用网格规范
- CCS分类:H80
- ICS分类:29.045
- 发布日期:2019-03-25
- 实施日期:2020-02-01
- 代替标准:代替GB/T 16595-1996
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《晶片通用网格规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。本标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片,也适用于其他半导体材料晶片。
起草单位
浙江海纳半导体有限公司、有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、浙江省硅材料质量检验中心、
起草人
潘金平、饶伟星、楼春兰、徐新华、王伟棱、郑欢欣、杨素心、卢立延、吴雄杰、高海军、余俊军、
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