GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片
标准详情:
GB/T 30858-2014
国家标准推荐性现行
- 中文名称:蓝宝石单晶衬底抛光片
- CCS分类:H83
- ICS分类:29.045
- 发布日期:2014-07-24
- 实施日期:2015-04-01
- 代替标准:
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《蓝宝石单晶衬底抛光片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片(以下简称蓝宝石衬底片)。
起草单位
协鑫光电科技控股有限公司、浙江昀丰新能源科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司、中国科学院上海光机所、浙江上城科技有限公司、
起草人
魏明德、黄朝晖、徐永亮、袁忠纯、刘逸枫、杭寅、
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