GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片
标准详情：
GB/T 14015-1992
国家标准推荐性现行
- 中文名称：硅-蓝宝石外延片
- CCS分类：L90
- ICS分类：
- 发布日期：1992-12-28
- 实施日期：1993-08-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：
内容简介
国家标准《硅-蓝宝石外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。 本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
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