GB/T 20230-2022 磷化铟单晶
标准详情：
GB/T 20230-2022
国家标准推荐性现行
- 中文名称：磷化铟单晶
- CCS分类：H83
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2022-03-09
- 实施日期：2022-10-01
- 代替标准：代替GB/T 20230-2006
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《磷化铟单晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了磷化铟单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。本文件适用于制作光电、微电器件用的磷化铟单晶锭及磷化铟单晶抛光片。
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导微电子科技有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、云南鑫耀半导体材料有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、
起草人
孙聂枫、李晓岚、惠峰、李素青、邵会民、周铁军、王博、张晓丹、王阳、刘惠生、朱刘、王书杰、史艳磊、付莉杰、姜剑、王宇、
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