GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
标准详情：
- 中文名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
- CCS分类：H17
- ICS分类：
- 发布日期：1984-03-28
- 实施日期：1985-03-01
- 代替标准：
- 技术归口：中国有色金属工业协会
- 发布部门：中国有色金属工业协会
- 标准分类：
内容简介
国家标准《半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
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