GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法

标准详情：

GB/T 11073-1989

国家标准推荐性

中文名称：硅片径向电阻率变化的测量方法
CCS分类：H21
ICS分类：
发布日期：1989-03-31
实施日期：1990-02-01
代替标准：被GB/T 11073-2007全部代替
技术归口：中国有色金属工业协会
发布部门：中国有色金属工业协会
标准分类：

内容简介

国家标准《硅片径向电阻率变化的测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。

起草单位

峨嵋半导体材料研究所、

起草人

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