GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法

标准详情：

GB/T 13388-1992

国家标准推荐性

中文名称：硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
CCS分类：H21
ICS分类：
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
代替标准：被GB/T 13388-2009全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：

内容简介

国家标准《硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

北京有色金属研究总院、

起草人

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