GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

内容简介

国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。 本标准适用于掺杂剂浓度10～10cm（电阻率0.0001～10，000Ω·cm）掺硼硅单晶和10～5×10cm（电阻率0.0002～4，000Ω·cm）掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

起草单位

峨嵋半导体材料研究所、

起草人

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