GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片

标准详情：

GB/T 13843-1992

国家标准推荐性

中文名称：蓝宝石单晶抛光衬底片
CCS分类：L90
ICS分类：
发布日期：1992-12-28
实施日期：1993-08-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：

内容简介

国家标准《蓝宝石单晶抛光衬底片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

起草单位

天津半导体技术研究所、

起草人

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