GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法光学投影法

标准详情：

GB/T 14140.1-1993

国家标准推荐性

中文名称：硅片直径测量方法光学投影法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040.01
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
代替标准：被GB/T 14140-2009全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《硅片直径测量方法光学投影法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

洛阳单晶硅厂、

起草人

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