GB/T 14143-1993 300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

标准详情：

GB/T 14143-1993

国家标准推荐性

中文名称：300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
CCS分类：H26
ICS分类：
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
代替标准：被GB/T 1557-2006全部代替
技术归口：中国有色金属工业协会
发布部门：中国有色金属工业协会
标准分类：

内容简介

国家标准《300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。

起草单位

机电部第四十六研究所、

起草人

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