GB/T 14264-1993 半导体材料术语
标准详情：
GB/T 14264-1993
国家标准推荐性废止
- 中文名称：半导体材料术语
- CCS分类：H80
- ICS分类：
- 发布日期：1993-03-20
- 实施日期：1993-12-01
- 代替标准：被GB/T 14264-2009全部代替
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：
内容简介
国家标准《半导体材料术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
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