GB/T 1558-1997 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

内容简介

国家标准《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

峨嵋半导体材料厂、

起草人

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