GB/T 1555-1997 半导体单晶晶向测定方法
标准详情:
- 中文名称:半导体单晶晶向测定方法
- CCS分类:H21
- ICS分类:29.045
- 发布日期:1997-12-22
- 实施日期:1998-08-01
- 代替标准:被GB/T 1555-2009全部代替
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《半导体单晶晶向测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
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