GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

标准详情：

GB/T 17169-1997

国家标准推荐性

中文名称：硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
CCS分类：H24
ICS分类：29.045
发布日期：1997-12-22
实施日期：1998-08-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

起草单位

南开大学、天津市半导体材料厂、

起草人

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