GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法

标准详情:

GB/T 4060-2007

国家标准推荐性
  • 中文名称:硅多晶真空区熔基硼检验方法
  • CCS分类:H17
    ICS分类:77.040.01
  • 发布日期:2007-09-11
    实施日期:2008-02-01
  • 代替标准:代替GB/T 4060-1983被GB/T 4060-2018全部代替
  • 技术归口:中国有色金属工业协会
    发布部门:中国有色金属工业协会
  • 标准分类:冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由610(中国有色金属工业协会)归口,主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。本标准检测杂质浓度有效范围:0.002 X 10-9~100X 10-9。

起草单位

峨眉半导体材料厂、

起草人

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