GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法

标准详情：

GB/T 14146-2009

国家标准推荐性

中文名称：硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法
CCS分类：H80
ICS分类：29.045
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
代替标准：代替GB/T 14146-1993被GB/T 14146-2021全部代替
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容－电压测量方法。 u3000u3000本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。

起草单位

南京国盛电子有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心、宁波立立电子股份有限公司、

起草人

马林宝、唐有青、金龙、吕立平、刘培东、李静、

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