GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范
标准详情：
GB/T 15862-2012
国家标准推荐性现行
- 中文名称：离子注入机通用规范
- CCS分类：L97
- ICS分类：
- 发布日期：2012-11-05
- 实施日期：2013-02-15
- 代替标准：代替GB/T 15862-1995
- 技术归口：工业和信息化部（电子）
- 发布部门：工业和信息化部（电子）
- 标准分类：
内容简介
国家标准《离子注入机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。
本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其它离子注入机亦可参照使用。
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