GB/T 32817-2016 半导体器件微机电器件 MEMS总规范

标准详情：

GB/T 32817-2016

国家标准推荐性

中文名称：半导体器件微机电器件 MEMS总规范
CCS分类：L55
ICS分类：31.080.99
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
代替标准：
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学半导体分立器件其他半导体分立器件

内容简介

国家标准《半导体器件微机电器件 MEMS总规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。 u3000u3000

起草单位

中机生产力促进中心、中北大学、大连理工大学、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学、

起草人

李海斌、崔波、裘安萍、施芹、刘伟、石云波、杨拥军、刘冲、

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