JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数

标准详情：

JB/T 4081-1991

行业标准-JB 机械推荐性

中文名称：溅射离子泵型式与基本参数
CCS分类：
ICS分类：
发布日期：1991-07-22
实施日期：1992-07-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：
发布部门：机械电子工业部
标准分类：JB 机械

内容简介

行业标准《溅射离子泵型式与基本参数》，主管部门为机械电子工业部。
u3000u3000本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。u3000u3000本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。

起草单位

起草人

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