JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等
标准详情：
JB/T 5630-1991
行业标准-JB 机械推荐性废止
- 中文名称：半导体器件扩散炉能耗分等
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：1991-08-27
- 实施日期：1992-07-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：机械电子工业部
- 标准分类：JB 机械
内容简介
行业标准《半导体器件扩散炉能耗分等》，主管部门为机械电子工业部。
本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。 本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
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