SJ/T 10312-1992 电子束暴光机通用技术条件
标准详情：
SJ/T 10312-1992
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：电子束暴光机通用技术条件
- CCS分类：
- ICS分类：
- 发布日期：1992-06-15
- 实施日期：1992-12-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：电子工业部
- 标准分类：SJ 电子
内容简介
行业标准《电子束暴光机通用技术条件》，主管部门为电子工业部。
本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。
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