SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

标准详情：

SJ/T 10627-1995

行业标准-SJ 电子推荐性

中文名称：通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
CCS分类：
ICS分类：
发布日期：1995-04-22
实施日期：1995-10-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：
发布部门：电子工业部
标准分类：SJ 电子

内容简介

行业标准《通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法》，主管部门为电子工业部。

起草单位

起草人

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