SJ/T 11183-1998 匀胶设备通用规范
标准详情:
SJ/T 11183-1998
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称:匀胶设备通用规范
- CCS分类:
- ICS分类:
- 发布日期:1998-03-11
- 实施日期:1998-05-01
- 代替标准:代替SJ 8193-1988
- 行业分类:
- 技术归口:
- 发布部门:电子工业部
- 标准分类:SJ 电子
内容简介
行业标准《匀胶设备通用规范》,主管部门为电子工业部。
本标准规定了匀胶设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的匀胶设备。
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