SJ/T 11183-1998 匀胶设备通用规范

标准详情:

SJ/T 11183-1998

行业标准-SJ 电子推荐性
  • 中文名称:匀胶设备通用规范
  • CCS分类:
    ICS分类:
  • 发布日期:1998-03-11
    实施日期:1998-05-01
  • 代替标准:代替SJ 8193-1988
    行业分类:
  • 技术归口:
    发布部门:电子工业部
  • 标准分类:SJ 电子

内容简介

行业标准《匀胶设备通用规范》,主管部门为电子工业部。
本标准规定了匀胶设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的匀胶设备。

起草单位

起草人

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