SJ/T 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范
标准详情:
SJ/T 11185-1998
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称:蒸发镀膜设备通用规范
- CCS分类:
- ICS分类:
- 发布日期:1998-03-11
- 实施日期:1998-05-01
- 代替标准:代替SJ 1224-1977
- 行业分类:
- 技术归口:
- 发布部门:电子工业部
- 标准分类:SJ 电子
内容简介
行业标准《蒸发镀膜设备通用规范》,主管部门为电子工业部。
本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa~5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。
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