SJ/T 11181-1998 净化涂胶台通用规范

标准详情：

SJ/T 11181-1998

行业标准-SJ 电子推荐性

中文名称：净化涂胶台通用规范
CCS分类：
ICS分类：
发布日期：1998-03-11
实施日期：1998-05-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：
发布部门：电子工业部
标准分类：SJ 电子

内容简介

行业标准《净化涂胶台通用规范》，主管部门为电子工业部。
本标准规定了净化涂胶台的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备，其它类型的涂胶设备也可参照使用。

起草单位

起草人

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