YS/T 937-2013 镍铂靶材
标准详情：
YS/T 937-2013
行业标准-YS 有色金属推荐性现行
- 中文名称：镍铂靶材
- CCS分类：H68
- ICS分类：77.150.99
- 发布日期：2013-10-17
- 实施日期：2014-03-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品YS 有色金属
内容简介
行业标准《镍铂靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
起草单位
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
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