YS/T 28-2015 硅片包装
标准详情:
YS/T 28-2015
行业标准-YS 有色金属推荐性现行
- 中文名称:硅片包装
- CCS分类:H80
- ICS分类:29.045.
- 发布日期:2015-04-30
- 实施日期:2015-10-01
- 代替标准:代替YS/T 28-1992
- 行业分类:制造业
- 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门:工业和信息化部
- 标准分类:电气工程制造业YS 有色金属
内容简介
行业标准《硅片包装》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
起草单位
杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等
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