YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉
标准详情：
YS/T 1068-2015
行业标准-YS 有色金属推荐性现行
- 中文名称：制备钌靶用钌粉
- CCS分类：H68
- ICS分类：77.150.99
- 发布日期：2015-04-30
- 实施日期：2015-10-01
- 代替标准：
- 行业分类：制造业
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品制造业YS 有色金属
内容简介
行业标准《制备钌靶用钌粉》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。
起草单位
贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
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