YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材

标准详情:

YS/T 1024-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性

内容简介

行业标准《溅射用钽靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材(以下简称钽靶材)

起草单位

宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等

起草人

钟景明、李桂鹏、汪凯等

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