SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
标准详情：
SJ/T 31083-2016
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
- CCS分类：L01
- ICS分类：31.550
- 发布日期：2016-01-15
- 实施日期：2016-06-01
- 代替标准：代替SJ/T 31083-1994
- 行业分类：
- 技术归口：中国电子技术标准化研究院
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：电子学电子产品生产设备SJ 电子
内容简介
行业标准《真空镀膜设备完好要求和检查评定方法》由中国电子技术标准化研究院归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
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