YS/T 1141-2016 钛蒸发料
标准详情：
YS/T 1141-2016
行业标准-YS 有色金属推荐性现行
- 中文名称：钛蒸发料
- CCS分类：H64
- ICS分类：77.150.50
- 发布日期：2016-07-11
- 实施日期：2017-01-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：冶金有色金属产品钛产品YS 有色金属
内容简介
行业标准《钛蒸发料》，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。
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