T/IAWBS 002-2017 碳化硅外延片表面缺陷测试方法

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团体标准推荐性

本标准规定了功率器件用碳化硅外延片表面缺陷的无损光学测量方法。本标准适用于同质的超过（含）2微米厚的碳化硅外延层。

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