GB/T 42721-2023 电子特气一氧化氮

标准详情：

GB/T 42721-2023

国家标准推荐性

中文名称：电子特气一氧化氮
CCS分类：G86
ICS分类：71.100.20
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

国家标准《电子特气一氧化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。

起草单位

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起草人

施旖旎、付梦月、焦培培、郭琼、袁瑞玲、邵治平、金向华、孙猛、曹雪枫、汤萍、马彬淇、杜大艳、袁有录、王小波、边鲁宁、阳辉、吴靓、方华、高艳秋、郝萍、张金波、杨金山、杨康、黄辉、吴慧明、兰锋、王晶、李倩、宫兵、王大为、吴乾康、梁永强、马昌宁、赵刚、陈辉、刘颖、张天泽、李翔宇、傅铸红、陈艳珊、廖恒易、茹高艺、牛艳东、李长健、曹小林、方强、尹爱华、常侠、汪正宏、陈洁、王昭彬、于庆伟、王德发、张体强、秦远望、何波、韩一松、毛玲玲、尚柏羊、耿朝曦、董硕、顾大正、杨利、钱叶超、梁成科、高静、赖晓峰、周鹏云、

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