GB/T 36706-2018 磷化铟多晶

标准详情:

GB/T 36706-2018

国家标准推荐性
  • 中文名称:磷化铟多晶
  • CCS分类:H83
    ICS分类:29.045
  • 发布日期:2018-09-17
    实施日期:2019-06-01
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《磷化铟多晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了磷化锢多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶。

起草单位

南京金美镓业有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、石家庄麦特达电子科技有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、有色金属技术经济研究院、广东先导稀材股份有限公司、中国科学院半导体研究所、

起草人

范家骅、邢志国、李素青、王阳、刘惠生、赵有文、刘永豪、杨桂芳、刘文兵、李晓岚、孙聂枫、惠峰、朱刘、

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