SJ/T 11508-2015 集成电路用 正胶显影液

标准详情:

SJ/T 11508-2015

行业标准-SJ 电子推荐性
  • 中文名称:集成电路用 正胶显影液
  • CCS分类:L90
    ICS分类:31.030
  • 发布日期:2015-04-30
    实施日期:2015-10-01
  • 代替标准:
    行业分类:
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电子学电子技术专用材料SJ 电子

内容简介

行业标准《集成电路用 正胶显影液》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用正胶显影液,以下简称正胶显影液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

起草单位

江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

戈士勇、何珂、王周霞 等

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