SJ/T 11496-2015 红外吸收法测量砷化镓中硼含量

标准详情：

SJ/T 11496-2015

行业标准-SJ 电子推荐性

中文名称：红外吸收法测量砷化镓中硼含量
CCS分类：H83
ICS分类：29.045
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：电气工程半导体材料 SJ 电子

内容简介

行业标准《红外吸收法测量砷化镓中硼含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了在77K时，用红外吸收法来测定砷化镓(GaAs)中替位硼含量的方法。本标准适用于电阻率大于10∧6Ω·cm的半绝缘砷化镓单晶中替位硼含量的测试，测量硼含量的有效范围是从1×10∧16at·cm-3到2×10∧18at·cm-3。

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人

李静、何秀坤、刘兵等

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