SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

标准详情：

SJ/T 11761-2020

行业标准-SJ 电子推荐性

中文名称：200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
CCS分类：L95
ICS分类：31.55
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：电子学 SJ 电子

内容简介

行业标准《200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口

起草单位

上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等

起草人

胡松立、郑教增、冯亚彬等

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