SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

标准详情：

SJ/T 11491-2015

行业标准-SJ 电子推荐性

中文名称：短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
CCS分类：H82
ICS分类：29.045
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：电气工程半导体材料 SJ 电子

内容简介

行业标准《短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法，测量低阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含量。测量氧含量的有效范围从1×10∧16at.com3至硅单晶中间隙氧的最大固溶度的测试。

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人

李静、何秀坤、刘兵等

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