SJ/T 11505-2015 蓝宝石单晶抛光片规范
标准详情:
SJ/T 11505-2015
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称:蓝宝石单晶抛光片规范
- CCS分类:H83
- ICS分类:29.045
- 发布日期:2015-04-30
- 实施日期:2015-10-01
- 代替标准:
- 行业分类:
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:工业和信息化部
- 标准分类:电气工程半导体材料SJ 电子
内容简介
行业标准《蓝宝石单晶抛光片规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了衬底和红外探测器窗口用蓝宝石单晶抛光片的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装运输和贮存等内容。标准适用于泡生法和直拉法生长的蓝宝石单晶抛光片,其它方法生长的蓝宝石单晶抛光片也可参照本标准。
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、合肥晶桥光电材料有限公司等
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